六氟化鎢

理化性質(zhì)主要用途危險(xiǎn)特性貯運(yùn)須知急救措施 專題

中文名稱	六氟化鎢
中文同義詞	六氟化鎢;氟化鎢;六氟化鎢;氟化鎢(VI);氟化物測(cè)定用標(biāo)準(zhǔn)溶液
英文名稱	Tungsten hexafluoride
英文同義詞	Tungstenfluoride;TUNGSTEN HEXAFLUORIDE;TUNGSTEN(VI) FLUORIDE;(oc-6-11)-tungstenfluoride(wf6;Hexafluorotungsten;Tungsten fluoride (WF6);Tungsten fluoride (WF6), (OC-6-11)-;WF6
CAS號(hào)	7783-82-6
分子式	F6W
分子量	297.83
EINECS號(hào)	232-029-1
相關(guān)類別	特殊氣體 ( Specialty Gases );同位素氣體;電子特種氣體;Synthetic Reagents;Chemical Synthesis;Electronic Chemicals;Fluorides;Materials Science;Micro/NanoElectronics;Specialty Gases
Mol文件	7783-82-6.mol
結(jié)構(gòu)式

六氟化鎢 性質(zhì)

六氟化鎢 用途與合成方法

理化性質(zhì)

化學(xué)式WF6。分子量297.84。無色氣體或淡黃色液體。有強(qiáng)刺激性。有毒，其毒性與氟相似。溫度很低時(shí)呈白色固體。能溶于有機(jī)溶劑并產(chǎn)生特殊的顏色。遇水分解。在空氣中被潮氣分解而強(qiáng)烈冒煙，生成黃鎢酸或三氧化鎢?；瘜W(xué)性質(zhì)活潑。幾乎能和所有的金屬(除金和鉑)反應(yīng)。對(duì)鎳、蒙乃爾合金和不銹鋼也有腐蝕性，但Ni和不銹鋼可抗其腐蝕性。干燥狀態(tài)時(shí)，對(duì)玻璃的腐蝕性較弱，而在濕氣中則能迅速反應(yīng)。與氣態(tài)氨反應(yīng)強(qiáng)烈。能被氨水或堿所吸收。與堿金屬氟化物可成復(fù)鹽。溶于苯等多種有機(jī)溶劑。
【密度】 3.44×103kg/m3(15℃，液體)
【熔點(diǎn)】 2.5℃(5.6×104帕)
【沸點(diǎn)】 17.5℃
【臨界溫度】 171℃
【臨界壓力】 445.8kPa
【制備方法】 由金屬鎢粉與元素氟直接反應(yīng)合成。
【主要用途】 （1）一種強(qiáng)氟化劑，用于氣相沉積法制鎢膜。（2）在微電子工業(yè)中用作化學(xué)氣相淀積硅化鎢或鎢，以制作低電阻、 高熔點(diǎn)的互連線。

圖1為六氟化鎢分子結(jié)構(gòu)式。

主要用途

六氟化鎢（WF6）是唯一能穩(wěn)定存在的鎢的氟化物，具有極強(qiáng)的腐蝕性，可根據(jù)外界環(huán)境的變化表現(xiàn)出靈活的物化性能，被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域。六氟化鎢在電子工業(yè)中主要作為集成電路的配線材料使用，其在經(jīng)過化學(xué)氣相沉積工藝后可形成金屬鎢導(dǎo)體膜，鎢導(dǎo)體膜在集成電子學(xué)中通常被用作高傳導(dǎo)性的互連金屬、金屬層間的通孔和垂直接觸的接觸孔以及鋁和硅間的隔離層，因此被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成領(lǐng)域；另外，六氟化鎢還可以應(yīng)用于太陽能吸收器以及 X 射線發(fā)射電極的制造、導(dǎo)電漿糊等電子元器原材料。

危險(xiǎn)特性

遇潮濕、空氣或水會(huì)分解，放出劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。對(duì)皮膚、眼睛、粘膜能引起極嚴(yán)重的灼傷。高濃度暴露會(huì)引起惡心、嘔吐、腹痛、抽搐、腎損傷。本信息由Chemicalbook曉楠編輯（2015-09-05）。

貯運(yùn)須知

裝于特殊鋼瓶?jī)?nèi)，貯于陰涼、通風(fēng)的庫房?jī)?nèi)。避免日光直射。遠(yuǎn)離熱源和火源。防止受潮。與金屬、玻璃制品隔離貯運(yùn)。須貼“毒氣”標(biāo)志。航空、鐵路禁止運(yùn)輸。周圍其他可燃物著火時(shí)，可用干粉、二氧化碳滅火?？捎盟鋮s鋼瓶，迅速關(guān)閉閥門。

急救措施

眼睛受刺激可致盲，須不斷用水沖洗，迅送醫(yī)院診治。 皮膚和粘膜受腐蝕后很難痊愈，須用水沖洗，再涂敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水，并就醫(yī)診治。

類別

壓縮氣體和液化氣體

可燃性危險(xiǎn)特性

遇水分解有毒氟化氫氣體和鎢酸

儲(chǔ)運(yùn)特性

庫房通風(fēng)低溫干燥

滅火劑

水

職業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

TLV-TWA 5 毫克(鎢)/立方米; STEL 10 毫克(鎢)/立方米

安全信息

MSDS信息

六氟化鎢 上下游產(chǎn)品信息

下游產(chǎn)品

鎢