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YAMATO雅馬拓通風(fēng)柜 FHV
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￥99999.00元/件

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FHV

儀器描述

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蝕刻清洗專用的聚氯乙烯制通風(fēng)柜

特點(diǎn)
?可以在通風(fēng)柜下臺(tái)裝入恒溫水循環(huán)裝置進(jìn)行使用。
?內(nèi)、外裝都是使用硬質(zhì)聚氯乙烯，最適合使用酸、堿等的蝕刻清洗。
?通過(guò)采用阻流板可以很好的排出比重較大的氣體。

共通規(guī)格

內(nèi)外裝	硬質(zhì)聚氯乙烯材料 5mm厚
操作臺(tái)面（選定）	硬質(zhì)聚氯乙烯材料 5mm厚
門(mén)	透明聚氯乙烯材料 5mm厚
水栓	120型：2個(gè)（自來(lái)水、純水用各1個(gè)） 150/180型：4個(gè)（自來(lái)水、純水用各2個(gè)）
插座	AC220V 10A，2個(gè)
熒光燈	120/150型30W、180型40W各一個(gè)

規(guī)格

型號(hào)	FHV-120	FHV-150	FHV-180
外形尺寸	深×高	750×1850mm
寬	1200mm	1500mm	1800mm
重量	約200kg	約230kg	約250kg
排氣風(fēng)量	10m3/min	13m3/min	15m3/min
機(jī)內(nèi)靜壓（推薦值）	50Pa（5mmH2O）	59Pa（6mmH2O）	40Pa（4mmH2O）