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膜厚測試儀信息二維碼

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F20
儀器描述

美國 Filmetrics     www.filmetrics.com 

美國Filmetrics公司出品的F20 膜厚測量儀,可快速簡便的測量透光薄膜的光學參數(shù)(n,k值),可在幾秒內(nèi)測量并分析薄膜的表層和底層的反射光譜得到膜厚,折射率參數(shù)。
軟件以及USB接口可輕易的將儀器與Window系統(tǒng)的電腦連接。軟件的數(shù)據(jù)庫預存100種以上材料的基本信息,利用這些已存信息可以測量多層結(jié)構(gòu),用戶還可以通過擬合測量將新材料的光學系數(shù)存入系統(tǒng)以備今后應用。

測量條件:
薄膜:  平整,半透明,吸光薄膜。例如:SiO2 SiNX DLC、光刻膠、多晶硅無定形硅,硅片;
基底層:平整,反射基底。如需測量光學系數(shù),則需要平整鏡面反射基底,如果基片是透光的,基片背面需要做反光處理??捎没桌纾汗杵?玻璃 鋁、GaAs 鋼 聚碳酸脂、聚合物薄膜

儀器技術參數(shù):

  F20-UV F20 F20-NIR F20-ECR
僅厚度測量  30 ? to 20 μm 150 ? to 50 μm 1000 ? to 250 μm 150 ? to 250 μm
厚度以及n k  500 ? to 5 μm 1000 ? to 5 μm 3000 ? to 10 μm 1000 ? to 10 μm
波長范圍 220-850 nm 400-1000 nm 950-1700 nm 400-1700 nm
準確度 > 0.4% or 10 ?
精確度 1 ? 2 ? 1 ?
穩(wěn)定度 0.7 ? 1.2 ? 0.7 ?
光斑大小 500 μm ~ 1 cm
樣品尺寸 直徑1 mm~300 mm+
探測器 512-?óáD Si 512-陣列 InGaAs 512-陣列 Si&
光源 鎢鹵光源
電腦 5 MB 硬盤要求  2 MB 內(nèi)存  帶 USB 口
電源 100-240 VAC, 50-60 Hz, 0.3-0.1 A




 

膜厚測試儀,F20

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注:該產(chǎn)品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請醫(yī)療器械注冊和備案,不可用于臨床診斷或治療等相關用途

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