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美國 Filmetrics www.filmetrics.com
美國Filmetrics公司出品的F20 膜厚測量儀,可快速簡便的測量透光薄膜的光學參數(shù)(n,k值),可在幾秒內(nèi)測量并分析薄膜的表層和底層的反射光譜得到膜厚,折射率參數(shù)。
軟件以及USB接口可輕易的將儀器與Window系統(tǒng)的電腦連接。軟件的數(shù)據(jù)庫預存100種以上材料的基本信息,利用這些已存信息可以測量多層結(jié)構(gòu),用戶還可以通過擬合測量將新材料的光學系數(shù)存入系統(tǒng)以備今后應用。
測量條件:
薄膜: 平整,半透明,吸光薄膜。例如:SiO2 SiNX DLC、光刻膠、多晶硅無定形硅,硅片;
基底層:平整,反射基底。如需測量光學系數(shù),則需要平整鏡面反射基底,如果基片是透光的,基片背面需要做反光處理??捎没桌纾汗杵?玻璃 鋁、GaAs 鋼 聚碳酸脂、聚合物薄膜
儀器技術參數(shù):
F20-UV | F20 | F20-NIR | F20-ECR | |
僅厚度測量 | 30 ? to 20 μm | 150 ? to 50 μm | 1000 ? to 250 μm | 150 ? to 250 μm |
厚度以及n k | 500 ? to 5 μm | 1000 ? to 5 μm | 3000 ? to 10 μm | 1000 ? to 10 μm |
波長范圍 | 220-850 nm | 400-1000 nm | 950-1700 nm | 400-1700 nm |
準確度 | > 0.4% or 10 ? | |||
精確度 | 1 ? | 2 ? | 1 ? | |
穩(wěn)定度 | 0.7 ? | 1.2 ? | 0.7 ? | |
光斑大小 | 500 μm ~ 1 cm | |||
樣品尺寸 | 直徑1 mm~300 mm+ | |||
探測器 | 512-?óáD Si | 512-陣列 InGaAs | 512-陣列 Si& | |
光源 | 鎢鹵光源 | |||
電腦 | 5 MB 硬盤要求 2 MB 內(nèi)存 帶 USB 口 | |||
電源 | 100-240 VAC, 50-60 Hz, 0.3-0.1 A |
膜厚測試儀,F20
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注:該產(chǎn)品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請醫(yī)療器械注冊和備案,不可用于臨床診斷或治療等相關用途