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產(chǎn)品參數(shù)

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二次電子圖象分辨率	3.0nm/30kV;7.0nm/3kV	放大倍數(shù)	7 - 800,000倍
電子光學(xué)	預(yù)對(duì)中的鎢燈絲	背散射電子圖像分辨率	0nm@10kv
加速電壓	0.3-30kV	電子槍種類	鎢燈絲

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主要特點(diǎn)：

1、 鎢燈絲電鏡獨(dú) 有分辨率指標(biāo)：二次電子7nm@3kv,背散射電子10nm@10kv;

2、 低電壓低真空表現(xiàn)優(yōu)異，可觀察不 良導(dǎo)體的表面形貌和細(xì)節(jié)信息

3、 自動(dòng)化功能速度快，自動(dòng)準(zhǔn)確度高，適合高吞吐量工作和電鏡操作基礎(chǔ)薄弱者操作；

 

應(yīng)用領(lǐng)域：

1、 生物醫(yī)學(xué)

2、 食品衛(wèi)生

3、 電子半導(dǎo)體

4、 汽車制造

5、 新能源

 

 

日立掃描電鏡SU3500 除了繼承日立鎢燈絲掃描電鏡經(jīng)典機(jī)型 S-3400 的優(yōu)勢(shì)外，還在電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、操作界面等方面做了很大改進(jìn)。

1、全新設(shè)計(jì)的光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)，使得圖像質(zhì)量有很大的提高。

2、 四偏壓改為六偏壓設(shè)計(jì)，低壓下成像能力更強(qiáng)，甚至在 1.5kV 下發(fā)射電流達(dá) 300μA。

3、高靈敏度背散射探測(cè)器的低壓分辨率指標(biāo) 10nm@5kV，為業(yè)內(nèi)首 次突出，分辨率也有很大提升。

4、首 次引入實(shí)時(shí)的 3D 動(dòng)態(tài)觀測(cè)，樣品無需樣品臺(tái)傾斜即可拍攝 3 維立體圖像。

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目		描述
二次電子分辨率		3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式）
		7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式）
背散射電子分辨率		4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式）
		10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式）
放大倍率		5 - 300,000倍（底片倍率＊5）
		7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率＊6）
加速電壓		0.3 - 30kV
可變壓力范圍		6 - 650Pa
最大樣品尺寸		直徑 200mm
樣品臺(tái)	X	0 - 100mm
	Y	0 - 50mm
	Z	5 - 65mm
	R	360°
	T	-20° - 90°
	可觀察區(qū)域	直徑 130mm （旋轉(zhuǎn)并用）
	最大樣品高度	80mm（WD=10mm）
	馬達(dá)臺(tái)	5軸標(biāo)配
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子槍	預(yù)對(duì)中的鎢燈絲
	物鏡光闌	4孔可動(dòng)光闌
	探檢測(cè)器	埃弗哈特 索恩利 二次電子探測(cè)器
		高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
	EDX分析 WD	10mm（取出角35°）
圖像顯示	操作系統(tǒng)	Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知）
	圖像顯示模式	全屏模式（1,280 × 960 像素）
		小屏模式（800 × 600 像素）
		雙圖像顯示（800 × 600 像素）
		四屏幕顯示（640 × 480像素）
		信號(hào)混合模式
排氣系統(tǒng)	操作	全自動(dòng)排氣
	渦輪分子泵	210升/秒 × 1
	機(jī)械泵	135L/min（162L/min，60Hz）× 1

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日立二手掃描電鏡 SU-3500 二手鎢燈絲電鏡 二手SEM+EDS,Su-3500

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