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二手日立 掃描電鏡SU3500 二手日立掃描電子顯微鏡SEM+EDS 二手鎢燈絲電鏡 二手電鏡信息二維碼

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SU3500
二手日立 掃描電鏡SU3500 二手日立掃描電子顯微鏡SEM+EDS 二手鎢燈絲電鏡 二手電鏡 核心參數(shù)
加速電壓 0.3-30kV 放大倍數(shù) 7-800,000

詳細(xì)介紹


主要特點(diǎn)：
1、 鎢燈絲電鏡獨(dú) 有分辨率指標(biāo)：二次電子7nm@3kv,背散射電子10nm@10kv;
2、 低電壓低真空表現(xiàn)優(yōu)異，可觀察不 良導(dǎo)體的表面形貌和細(xì)節(jié)信息
3、 自動化功能速度快，自動準(zhǔn)確度高，適合高吞吐量工作和電鏡操作基礎(chǔ)薄弱者操作；

 

應(yīng)用領(lǐng)域：
1、 生物醫(yī)學(xué)
2、 食品衛(wèi)生
3、 電子半導(dǎo)體
4、 汽車制造
5、 新能源

 

 

技術(shù)參數(shù)

 

項(xiàng)目

描述

二次電子分辨率3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式）
7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式）
背散射電子分辨率4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式）
10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式）
放大倍率5 - 300,000倍（底片倍率＊5）
7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率＊6）
加速電壓0.3 - 30kV
可變壓力范圍6 - 650Pa
zui大樣品尺寸直徑 200mm
樣品臺X0 - 100mm
Y0 - 50mm
Z5 - 65mm
R360°
T-20° - 90°
可觀察區(qū)域直徑 130mm （旋轉(zhuǎn)并用）
zui大樣品高度80mm（WD=10mm）
馬達(dá)臺5軸標(biāo)配
電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍預(yù)對中的鎢燈絲
物鏡光闌4孔可動光闌
探檢測器埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
EDX分析 WD10mm（取出角35°）
圖像顯示操作系統(tǒng)Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知）
圖像顯示模式全屏模式（1,280 × 960 像素）
小屏模式（800 × 600 像素）
雙圖像顯示（800 × 600 像素）
四屏幕顯示（640 × 480像素）
信號混合模式
排氣系統(tǒng)操作全自動排氣
渦輪分子泵210升/秒 × 1
機(jī)械泵135L/min（162L/min，60Hz）× 1
日立掃描電鏡SU3500 除了繼承日立鎢燈絲掃描電鏡經(jīng)典機(jī)型 S-3400 的優(yōu)勢外，還在電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、操作界面等方面做了很大改進(jìn)。
1、全新設(shè)計的光學(xué)系統(tǒng)和信號處理技術(shù)，使得圖像質(zhì)量有很大的提高。
2、 四偏壓改為六偏壓設(shè)計，低壓下成像能力更強(qiáng)，甚至在 1.5kV 下發(fā)射電流達(dá) 300μA。
3、高靈敏度背散射探測器的低壓分辨率指標(biāo) 10nm@5kV，為業(yè)內(nèi)首 次突出，分辨率也有很大提升。
4、首 次引入實(shí)時的 3D 動態(tài)觀測，樣品無需樣品臺傾斜即可拍攝 3 維立體圖像。


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