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| 加速電壓 | 0.2－30kV，10V步進連續(xù)可調(diào) | 放大倍數(shù) | 2.0倍－1,000,000倍，可連續(xù)調(diào)整 |
| 分辨率 | ≤2.5nm(30kV)，≤5.0nm（15kV） |
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