發(fā)布時(shí)間：2022年06月

 JSM-IT200掃描電子顯微鏡

■ 主窗口 ーZ e r o m a g 觀察ー

使用主窗口顯示的樣品架示意圖和光學(xué)C C D 圖像 *1 ，能尋找視野和定位 分析位置。

■ 顯示譜圖和顯示元素 顯示譜圖和顯示元素 ーLive Analysis 分析 *2 ー

通過(guò)顯示譜圖和顯示元素，能確認(rèn)正在觀察中的視野的譜圖及主要元素。

■ 數(shù)據(jù)管理圖標(biāo) 數(shù)據(jù)管理圖標(biāo) ーSMILE VIEW

T M

L a b 數(shù)據(jù)集中管理ー按下數(shù)據(jù)管理圖標(biāo)并顯示數(shù)據(jù)管理窗口后，從 S E M 圖像到分析，對(duì)全部數(shù)據(jù)能創(chuàng)建批量報(bào)告、

查看數(shù)據(jù)并重新分析數(shù)據(jù)。

J S M - I T 2 0 0 在完成樣品交換的同時(shí)，開(kāi)始觀察需要的視野。

按照導(dǎo)航流程操作，也可以安全、方便、可靠地交換樣品。

■ 樣品交換導(dǎo)航

樣品交換導(dǎo)航是從打開(kāi)樣品室到開(kāi)始觀察過(guò)程中進(jìn)行導(dǎo)航的功能。

■ Zeromag

只需擴(kuò)大光學(xué)圖像，就可以過(guò)渡到 S E M 圖像

Z e r o m a g 功能將與樣品臺(tái)位置關(guān)聯(lián)的樣品架示意圖、C C D 圖像 * （光學(xué)圖像）和S E M 圖像實(shí)現(xiàn)了聯(lián)動(dòng)?？梢灾庇^地尋找分析區(qū)域，只需放大光學(xué)圖像就可以過(guò)渡到S E M 圖像，因而能防止弄錯(cuò)觀察目標(biāo)和樣品。

Zeromag 的特長(zhǎng)

?能象用光鏡一樣直觀地移動(dòng)視野

?可以預(yù)約多個(gè)分析區(qū)域的測(cè)試

?可以輕松回溯到已測(cè)試完的區(qū)域

Live Analysis

S E M 觀察過(guò)程中始終顯示元素分析結(jié)果

利用Live A n a ly s i s 功能，可以不必再分別考慮S E M 觀察和E D S 分析。在觀察窗口上可以隨時(shí)顯示分析區(qū)域內(nèi)的特征X射線(xiàn)譜圖和自動(dòng)定性的主要構(gòu)成元素名稱(chēng)，還可以發(fā)現(xiàn)感興趣的元素和一些意想不到的元素。

Live Analysis 的特長(zhǎng)

?始終顯示特征X射線(xiàn)譜圖

?通過(guò)顯示樣品的主要構(gòu)成元素幫助發(fā)現(xiàn)意想不到的元素。

?對(duì)感興趣元素的標(biāo)注“Alert”

利用SEM觀察窗口上配置的全域/區(qū)域面分布圖圖標(biāo)能獲取整個(gè)觀察區(qū)域或需要區(qū)域的元素面分布圖。

可利用數(shù)據(jù)管理軟件 SMILE VIEWTM Lab 對(duì)采集的數(shù)據(jù)（如用譜圖、元素面分布圖、線(xiàn)分析對(duì)元素的再定位等）進(jìn)行各種分析。

● 實(shí)時(shí) 凈計(jì)數(shù)面分布圖／定量面分布圖

對(duì)每個(gè)像素點(diǎn)的譜峰進(jìn)行分離，顯示消除了臨近峰影響的元素面分布圖。對(duì)凈計(jì)數(shù)面分布圖進(jìn)一步校正計(jì)算，還有用定量值顯示的定量面分布圖。

● 強(qiáng)度面分布圖和凈計(jì)數(shù)面分布圖

Pb-Mα (2.342 keV)的譜峰 和Bi-Mα (2.419 keV) 的譜峰很接近，在強(qiáng)度面分布圖中很難把Bi和Pb的峰*分開(kāi)。通過(guò)顯示凈計(jì)數(shù)面分布圖，可以確認(rèn)Bi元素原有的分布。

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