主要特點：

1) 全新的觸摸式掃描電子顯微鏡
2)多變的操作模式
3)節(jié)省空間的設(shè)計
4)高性能，高配置，延續(xù)了JEOL掃描電子顯微鏡的圖象質(zhì)量，標(biāo)配低真空系統(tǒng)和電制冷能譜儀，能夠滿足用戶各種操作需求。
5)維護(hù)簡單

技術(shù)參數(shù)：

二次電子像分辨率：3 nm (30 kV, 高真空)8 nm (3 kV, 高真空)15 nm (1 kV, 高真空)
背散射電子像分辨率：4.0 nm (30 kV,高真空/低真空)
加速電壓：0.5 to 30kV
放大倍數(shù)：8x to 300,000x
低真空范圍：10-100 Pa
EDS分析： WD 10 mm,取出角 35度標(biāo)配電制冷能譜儀 (133 eV)
電子槍： 工廠預(yù)對中燈絲
電子槍偏壓： 無縫式自偏壓
低真空范圍：10-100 Pa
聚光鏡（日本電子ZL）：可變焦聚光鏡
物鏡： 超級圓錐形物鏡
物鏡光闌： 1段式可動(帶XY軸微調(diào))
像散存儲器： 內(nèi)置
圖像移動：±50μm（WD 10 mm）
探測器 ：二次電子探測器， 高靈敏度半導(dǎo)體型背散射電子探測器，低真空二次電子探測器 (選購)。
自動槍對中：內(nèi)置
自動聚焦：內(nèi)置
自動燈絲加熱：內(nèi)置
自動消像散：內(nèi)置
自動亮度和對比度調(diào)整：內(nèi)置
最大樣品尺寸：152mm（直徑）
可支持的選購附件：EDS
樣品室：X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，傾斜：-10 - +90度，旋轉(zhuǎn)：360度
最大視野范圍:127mm（直徑）
最大樣品高度:53 mm
馬達(dá)驅(qū)動:2軸馬達(dá)驅(qū)動（選配）
圖像存儲像素:640x480, 1280x960, 2560x1920 pixels
圖像顯示像素:1 frame: 1280x 960 2 frames: 640x480; 4 frames: 320x240EG
圖像保存格式:Format: BMP, TIFF, JP
平行線間距測量:垂直,水平,對角
2點之間距離測量:任意2點間距離
圓的測量:直徑,2個圓中心間距離
角度測量:角度
面積測量:圓和多角形
計數(shù):顆粒計數(shù)
分子泵:420升/秒
機(jī)械泵:100升/秒