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一、 概述
背壓檢漏法是在氦質(zhì)譜檢漏法中應(yīng)用較廣泛的方法之一，它主要用于封離電子器件、半導(dǎo)體器件和具有內(nèi)空腔的微電路封裝等元件的氣密性檢測。
A601型氦氣氟油加壓儀可以用于元器件進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏前的氦氣加壓，也可將元器件置于輕氟油中做氟油檢漏前的加壓。做氦質(zhì)譜檢測時(shí)示蹤氣體為氦氣，進(jìn)行氟油檢漏時(shí)示蹤物質(zhì)是輕氟油。
二、 主要技術(shù)指標(biāo)
允許最高充壓： ≤0.8MPa
壓力容器尺寸： Ф150×200 ㎜
容器真空壓力： ≤100Pa
壓 力 表：0-1.0MPa
電 源 功 率： 220V 400W
三、使用條件
設(shè)備使用之前需準(zhǔn)備滿足實(shí)驗(yàn)需要的氮?dú)?、氦氣和輕氟油(F113)
四、 設(shè)備結(jié)構(gòu)
該設(shè)備采取對稱結(jié)構(gòu)，具有兩套功能完全相同的檢測系統(tǒng)，上面兩個(gè)容器用做元件在氦氣中加壓或浸在輕氟油中的氮?dú)饧訅?。下面兩個(gè)容器用來存放輕氟油。設(shè)備臺面上除加壓容器、控制閥門、壓力表還安裝有液位顯示裝置。臺面下部有機(jī)械泵、貯液罐和防止誤操作裝置等，設(shè)備操作開關(guān)和氣路閥門在機(jī)架的左側(cè)。
五、配置清單
序號 | 名稱 | 規(guī)格 | 數(shù)量 |
1 | 壓力容器 | Φ150x200mm | 2 個(gè) |
2 | 樣品提籃 | Φ135x150mm | 2 個(gè) |
3 | 輕氟油存儲(chǔ)器 | Φ150x200mm | 2 個(gè) |
4 | 真空壓力閥 | 通經(jīng)Ф12 | 4個(gè) |
5 | 真空壓力閥 |
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