8500場發(fā)射掃描電子顯微鏡通過微型化靜電聚焦鏡的設(shè)計，有效避免傳統(tǒng)電磁聚焦鏡在成像過程中的滯后現(xiàn)象。不同于傳統(tǒng)電鏡在更換電子源后必需的復(fù)雜標(biāo)定過程，是德科技8500系統(tǒng)通過現(xiàn)場更換ECD Cartridge,用戶可得到一個全新的電子源、并配有高精度的電子束發(fā)射腔以及全新的檢測器，相當(dāng)于再次擁有了一臺全新的 8500FE-SEM。

特點和優(yōu)勢

• 場發(fā)射高分辨掃描電子顯微鏡，結(jié)構(gòu)優(yōu)化，核心元件達(dá)到晶元尺度。在保持高端掃描電子顯微鏡性能的同時，大大減少對試驗條件和配套設(shè)備的要求，并極大降低了后續(xù)場發(fā)射掃描電子顯微鏡的使用成本和維護(hù)成本

• 創(chuàng)新的靜電聚焦鏡設(shè)計，無需調(diào)校，重復(fù)性好。

• 創(chuàng)造性的ECD cartridge (集電子源、電子束發(fā)射腔，和檢測器于一體）設(shè)計，終生無需標(biāo)定。

• 在低壓條件下，穩(wěn)定得到高分辨的成像結(jié)果，針對能量敏感型或易電子損傷樣品，能避免高壓電子束對樣品造成的熔融現(xiàn)象。

• 成像電壓連續(xù)可調(diào)，樣品臺XYZ三軸自由調(diào)控。

• 在保證高性能的同時，大大降低試驗安裝要求，以及使用成本。不用液氮，電源即插即用。

• 制樣筒單，樣品無需噴金噴碳，完整保留樣品的真實形貌特征，適用于各種導(dǎo)電/非導(dǎo)電樣品。