根據(jù)GB/T 20726-2006/ISO 15632:2002“半導體探測器X射線能譜儀通則”的國標－國際標準的有關規(guī)定，對于能譜儀分辨率特性的檢驗，隨著探測器的發(fā)展作出了新的規(guī)定：即除了應測量Mn-K峰的半高寬外，還應測量C-K和F-K峰的半高寬，并對測量所選用的樣品和具體條件作了非常具體的規(guī)定：

“樣品應采用密封的55Fe源來測量錳的Ka線，采用聚四氟乙烯（PTFE，Teflon）片或泊片測量碳和氟的K線。為了在用戶實驗室檢查半高寬（FWHM），如果沒有55F或出于安全考慮，不能使用55F，可以用拋光的錳樣品來替代。用來測定碳和氟的K線的聚四氟乙烯片替代品可以分別使用玻璃碳和含氟礦物，如CaF2?！蓖瑫r還要求用拋光、平整、潔凈的鎳或銅樣品” 對“能量與儀器效率相關指標L/K比值的確定”。

這個標準的統(tǒng)一執(zhí)行將會帶來以下幾個有益的效果：

l 便于用戶可以更好地對比和檢驗各個能廠家產(chǎn)品的優(yōu)劣。

l 有利于用戶對正在使用中的能譜儀進行統(tǒng)一的儀器自檢，及時了解儀器的狀態(tài)，有利于分析測試參數(shù)的及時調(diào)整。

因此，每個實驗室自備一套能譜儀性能檢驗的標樣十分必要。為滿足這一需求，我們特研制了這一組合。該套樣品中包括有以下兩類標樣組成，一類是用于探測器分辨率測定的標樣，即：

1、 聚四氟乙烯；C12 (C2F4)n

2、 電解錳（或MnO2）；J24 Mn: 99.99

3、 氟化鈣（CaF）K50 Ca: 51.33 F: 48.67 T: 100.00

4、 玻璃碳（或金剛石）C4 C:100.00 聚四氟乙烯結構

由于該標準同時還規(guī)定了對探測器還應使用Ni和Cu標樣對“能量與儀器效率相關指標L/K比值的確定”，即該組合中還應使用：

5、 銅標樣 J11 Cu:99.99

6、 鎳樣標 J12 Ni:99.99

7、 鈷標樣（強度校正用） J19 Co: 99.99

8、 硅標樣 J13 Si: 99.999

此外，BN和PbS也常常為許多用戶用作檢驗EDS超輕元素分析和譜峰剝離的檢驗。

9、 氮化硼 C6 BN B: 43.56 N: 56.44 是很稀罕的單晶，用于檢查超輕元素的分析能力

10、方鉛礦 K51 GSB A70070-92 PbS Pb: 86.35 S: 13.06是標準的天然礦物，

用于檢查Pb和S的分辨能力

根據(jù)GB／T 251892010“微束分析掃描電鏡能譜儀定量分析參數(shù)的測定方法”的要求，至少還應該選擇下面兩個樣品，分別檢驗金屬和氧化物硅酸鹽的分析正確性，其中，一個是不銹鋼（J64），一個是橄欖石（K21），也是必須的：

11、鎂橄欖石 K21 GSB 01-1415-2001 (Mg,Fe,)2SiO4

SiO2: 41.42 MgO: 49.35 FeO: 8.80 MnO: 0.11 NiO: 0.34 CaO: 0.11

Si: 19.36 Mg: 29.76 Fe: 6.84 O: 43.73 Mn: 0.09 Ni: 0.27

Ca: 0.08 T: 100.13

12、不銹鋼合金J64 Fe-Cr C: 0.51 Si: 1.18 Mn: 0.50 P: 0.001 S: 0.045

Ni: 11.70 Cr: 9.92 Mo: 0.79 V: 0.47 Ti: 0.72 (余量為鐵other Fe)