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大尺寸樣品分析 Veritas系列可以分析常規(guī)SEM無法分析的大尺寸樣品。例如:晶圓,磁盤
無損樣品分析 無需切割即可分析樣品。例如PCB,半導體圖案分析
較重樣品分析 能夠分析重達2kg的樣品。例如巖石,鐵礦石
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