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【儀器介紹】
SGC-10型薄膜測厚儀，適用于介質(zhì)，半導(dǎo)體，薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測量，是天津港東與美國new-span公司合作研制的，采用new-span公司先進(jìn)的薄膜測厚技術(shù)，基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（折射率n，消光系數(shù)k）。通過分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干形成的反射譜，用軟件來擬合運(yùn)算，得到單層或多層膜系各層的厚度d，折射率n，消光系數(shù)k。設(shè)備關(guān)鍵部件均為國外進(jìn)口，也可根據(jù)客戶需要整機(jī)進(jìn)口。
【產(chǎn)品配置及參數(shù)】
編號 | 名稱 | 規(guī)格 |
1 | 厚度范圍 | 20nm-50um（只測膜厚），100nm-10um（同時測量膜厚和光學(xué)常數(shù)n，k）根據(jù)薄膜材料的種類，其范圍有所不同。 |
2 | 準(zhǔn)確度 | <1nm或<0.5% |
3 | 重復(fù)性 | 0.1nm |
4 | 波長范圍 | 380nm-1000nm |
5 | 可測層數(shù) | 1-4層 |
6 | 樣品尺寸 | 樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm |
7 | 測量速度 | 5s-60s |
8 | 光斑直徑 | 1.2mm-10mm可調(diào) |
9 | 樣品臺 | 290mm*160mm |
10 | 光源 | 長壽命溴鎢燈（2000h） |
11 | 光纖 | 純石英寬光譜光纖 |
12 | 探測器 | 進(jìn)口光纖光譜儀 |
13 | 電源 | AC100V-240V，50HZ-60HZ |
14 | 重量 | 18kg |
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