產(chǎn)品簡介

基于專 利的、源自德國的主動(dòng)式針尖技術(shù)，百及納米科技開發(fā)了下一代工業(yè)智能型原子力顯微鏡系統(tǒng)，針對(duì)工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用提供快速、智能的樣品形貌表征，適用于工業(yè)型檢錯(cuò)、質(zhì)量評(píng)定和量化測量等，尤其適用于檢測大尺寸晶圓或光學(xué)晶圓。

系統(tǒng)集成了大尺寸樣品位移臺(tái)、全自動(dòng)光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)和配套自動(dòng)控制軟件，可對(duì)大尺寸樣品進(jìn)行的光學(xué)成像定位，根據(jù)光學(xué)成像結(jié)果自動(dòng)標(biāo)定多個(gè)準(zhǔn)確測量區(qū)域，并根據(jù)缺陷/待測結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)進(jìn)行模式識(shí)別，智能選取原子力顯微鏡測量參數(shù)，在樣品多個(gè)位置間自動(dòng)移動(dòng)，進(jìn)行可重復(fù)的高分辨率測量，生成檢測書面報(bào)告，整個(gè)過程無需人工參與，實(shí)現(xiàn)對(duì)大尺寸樣品形貌的智能化、自動(dòng)化的高速、高質(zhì)量納米級(jí)測量。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· 頂 級(jí)自動(dòng)化功能、測量過程無需激光調(diào)節(jié)、即插即用式針尖更換方案、快速自動(dòng)進(jìn)針，

· 針對(duì)高深寬比的溝槽或孔洞結(jié)構(gòu)，采用特制的長針尖提供微納米結(jié)構(gòu)的三維形貌準(zhǔn)確測量，

· 可升級(jí)至多針尖并行測量模式，大幅提高微納結(jié)構(gòu)表征的范圍和效率，

· 可升級(jí)為基于針尖光刻的微納米結(jié)構(gòu)高性能加工系統(tǒng)，大氣環(huán)境下快速直寫5nm以下結(jié)構(gòu)。

功能指標(biāo)